ALD常用前驅體在半導體、顯示、納米、新能源、催化等高校科研領域的研究熱度頗高。針對客戶實際需求,我司可提供研發級的先進ALD 常用前驅體,產品純度最高可達6.5N,并支持為客戶定制合成;產品可用于制備學術研究和企業研發用的金屬/氧化物/氮化物/碳化物/硅化物/硫化物薄膜。 同時,我們也可以提供鋼瓶的定制、清洗、灌裝等服務及ICP-MS等先進的材料表征服務,能夠對產品和鋼瓶進行ppb級別的純度分析。配備氦質譜檢漏儀,保證所有出貨的鋼瓶氣密性良好。
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產品介紹:
一種無色透明液體,室溫下具有很高的飽和蒸氣壓,可以用作烯烴聚合催化劑、引火燃料。也可以和其他共反應物生長氧化物和氮化物,在微電子和光電器件中有廣泛應用。
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一種無色透明液體,可以和其他共反應物沉積氧化物、氮化物等薄膜,其生長的氧化物是一種高K介質材料,具有非常好的熱穩定性,被用作柵介質替代層和保護涂層。
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一種對水氣敏感的淡黃色液體; 用于ALD/MOCVD,制備TiO2、TiN、TiSx等薄膜,廣泛應用于動態隨機存取存儲器、Cu擴散屏障、CMOS金屬柵材料、場效應晶體管、催化等領域。
產品介紹:
一種對水氧敏感的黃色液體; 用于ALD/MOCVD,制備TiO2、TiN薄膜,應用于動態隨機存取存儲器、Cu擴散屏障、CMOS金屬柵材料、場效應晶體管、催化等領域。
產品介紹:
一種對水氧敏感的黃色液體; 用于ALD/MOCVD,制備TiO2、TiN薄膜,應用于動態隨機存取存儲器、Cu擴散屏障、CMOS金屬柵材料、場效應晶體管、催化、自組裝單分子層(SAMs)等領域。
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一種對水敏感的無色/淡黃色液體;用于ALD/MOCVD,制備TiO2、BaTixOy、PbTixOy、 SrTixOy等薄膜,應用于動態隨機存取存儲器、Cu擴散屏障、CMOS金屬柵材料、場效應晶體管、催化等領域。
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一種對水敏感的黃色液體;用于ALD/MOCVD,制備金屬Ti、TiO2、TiN、TiS2等薄膜,可用于微電子、太陽能電池、光催化和太陽能電池等領域。
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一種對水氧極其敏感的無色液體;用于ALD/MOCVD,制備GaN、GaAs、AsGaAl等半導體薄膜材料,是制備半導體材料的核心基礎材料之一,廣泛應用于集成電路、液晶顯示、LED照明、傳感器、激光器、光伏電池等行業。
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一種具有胺樣氣味的黃色可燃液體,可用于W的氮化物薄膜、氧化物薄膜、碳化物薄膜的ALD前驅體源,可廣泛應用于薄膜電容器、電致變色、催化、硬質涂層和微電子等領域。
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一種對水氣敏感的橘黃色固體粉末,用于ALD/MOCVD,制備Ta2O5、TaNx等薄膜,廣泛應用在微電子領域中銅擴散阻擋層、電容器、存儲器、能源電池、光催化等領域。
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一種對水敏感的黃色液體;用于ALD/MOCVD,制備Ta2O5、TaNx、TaNxCy等薄膜,廣泛應用在微電子領域中銅擴散阻擋層、電容器、存儲器、能源電池、光催化等領域。
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一種蒸氣壓高,在正常條件下熱穩定性好的液態ALD前驅體源,用于沉積氧化鈷薄膜及金屬鈷薄膜,可廣泛應用于電鍍、電致變色器件、非均相催化劑、固態氣體傳感器、電阻隨機存取存儲器(ReRAM)器件等技術領域,此外,氧化鈷還是一種活性催化劑,可減小空氣污染。
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一種無色液體,可作為Si的氮化物薄膜及氧化物薄膜的ALD前驅體源,被廣泛用作表面鈍化保護膜、絕緣層、雜質擴散掩膜、刻蝕掩膜以及半導體元件的表面封裝以及化學和生物傳感器器件上。
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一種無色的易燃液體,可作為Si的氮化物薄膜及氧化物薄膜的ALD前驅體源,薄膜可廣泛應用于電子器件、集成器件、光學薄膜器件、化學和生物傳感器器件上,此外,在光催化、微電子和透明絕熱等領域具有良好的發展前景。
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一種帶有一種像酒精的氣味的無色液體,可在低溫下實現沉積SiO2薄膜的ALD前驅體源,薄膜是一種重要的無機材料,被廣泛用作表面鈍化保護膜、絕緣層、雜質擴散掩膜、刻蝕掩膜以及半導體元件的表面封裝等。
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一種無色、易燃的液體,是常見的ALD沉積氧化釩薄膜的前驅體源,氧化釩薄膜廣泛應用于氣體傳感器、催化劑和二次電池電極等領域。
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一種對水敏感的透明液體,是常見的沉積氧化錫的ALD前驅體源,氧化錫薄膜可應用于光伏、氣體傳感、催化、光電子、建筑玻璃涂層等領域,也可用于涂覆氧化銦薄膜,制備氧化銦錫,是工業上最重要的透明導電氧化物之一。
ALD常用前驅體在半導體、顯示、納米、新能源、催化等高校科研領域的研究熱度頗高。針對客戶實際需求,我司可提供研發級的先進ALD 常用前驅體,產品純度最高可達6.5N,并支持為客戶定制合成;產品可用于制備學術研究和企業研發用的金屬/氧化物/氮化物/碳化物/硅化物/硫化物薄膜。 同時,我們也可以提供鋼瓶的定制、清洗、灌裝等服務及ICP-MS等先進的材料表征服務,能夠對產品和鋼瓶進行ppb級別的純度分析。配備氦質譜檢漏儀,保證所有出貨的鋼瓶氣密性良好。
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